取り扱い装置
前工程
小型真空・雰囲気炉 KVA40／50
| ID番号 | F001165 |
|---|---|
| メーカー | 倉田技研 |
| 型番 | KVA40/50 |
| 年式 | 2012 |
ステッパー：NSR i14E
| ID番号 | F000978 |
|---|---|
| メーカー | ニコン |
| 型番 | NSR i14E |
| 年式 | --- |
真空炉
| ID番号 | F000977 |
|---|---|
| メーカー | 倉田技研 |
| 型番 | --- |
| 年式 | --- |
蒸着装置 CME-70
| ID番号 | F000968 |
|---|---|
| メーカー | キヤノントッキ |
| 型番 | CME-70 |
| 年式 | --- |
Ultratech 1500MVS
| ID番号 | F000967 |
|---|---|
| メーカー | UltratechStepper |
| 型番 | Ultratech 1500MVS |
| 年式 | --- |
ドライエッチング装置：DEA-506
| ID番号 | F000876 |
|---|---|
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 型番 | DEA-506 |
| 年式 | --- |
スパッタリング装置：SME-200E
| ID番号 | F000875 |
|---|---|
| メーカー | ULVAC |
| 型番 | SME-200E |
| 年式 | --- |
スパッタリング装置 SV-9045
| ID番号 | F000735 |
|---|---|
| メーカー | アルバック |
| 型番 | SV-9045 |
| 年式 | --- |
蒸着装置：ei-7K
| ID番号 | F000699 |
|---|---|
| メーカー | Ulvac |
| 型番 | ei-7K |
| 年式 | --- |
露光装置：UX-4023SC-AKF02
| ID番号 | F000671 |
|---|---|
| メーカー | ウシオ電機 |
| 型番 | UX-4023SC-AKF02 |
| 年式 | --- |
12インチウェハ搬送機：OCRSC131-001-001
| ID番号 | F000538 |
|---|---|
| メーカー | ローツェ |
| 型番 | OCRSC131-001-001 |
| 年式 | --- |
SOLD OUT
蒸着装置：EX900-D14
| ID番号 | F000666 |
|---|---|
| メーカー | アルバック |
| 型番 | EX900-D14 |
| 年式 | --- |
SOLD OUT
スパッタリング装置：SIH-450
| ID番号 | F000665 |
|---|---|
| メーカー | アルバック |
| 型番 | SIH-450 |
| 年式 | --- |
SOLD OUT
エキシマレーザーユニット：G10K-2
| ID番号 | F000533 |
|---|---|
| メーカー | コマツ |
| 型番 | G10K-2 |
| 年式 | --- |
