取り扱い装置
ダイサー
D000744
DFD640 ダイサー D000744
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主要スペック
| メーカー | ディスコ |
|---|---|
| 型番 | DFD640 |
| 管理番号 | 744 |
| 保管場所 | ワイエイシイダステックサテライト |
| 価格 | お問い合わせ下さい |
詳細情報
最大8インチウエハをダイシング可能です。
最大8インチウエハをマウントしたフレームをカセットより自動で取出し、
チャックテーブルへ搬送し自動アライメント行い、ダイシング後に洗浄し、
再びカセットへ戻すことができるフルーオートダイシングマシンです。
最大8インチウエハをマウントしたフレームをカセットより自動で取出し、
チャックテーブルへ搬送し自動アライメント行い、ダイシング後に洗浄し、
再びカセットへ戻すことができるフルーオートダイシングマシンです。
