ドライレジストフィルムをはじめとする多種多様なフィルムのラミネートをウェーハに対して内周に全自動で行う装置です。
真空状態でフィルムとウェーハを貼付けることにより、段差に対しても気泡の発生が無い貼り付けができます。
ドライレジストフィルム化する事により従来のウェットレジスト工程でのレジスト液の無駄を大幅に軽減できます。
ウェーハ内周に設定したフィルムサイズにカットする事で、メッキ電極に対応してウェーハ周辺部を露出する事が出来ます。

対応ウェーハサイズ:5インチ ・ 6インチ ・ 8 インチ
使用フィルム幅:5インチ:150～160mm／6インチ:180～200mm／8インチ:225～230mm