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取り扱い装置

半導体製造工程に関する装置を幅広く取り扱います!

ダイサー再生・販売ステーションは、半導体製造工程に使われるプロセス装置や検査装置等を多数取り扱っています。
お取り扱い可能な代表的な製品をご紹介させていただきます。下記の製品以外にも、お取り扱いができる場合がありますので、ご遠慮なくお問い合わせください。

ダイサー

ダイサー

汎用性の高いセミオートタイプ、量産向けのフルオートタイプがあります。スタンダードな1スピンドル仕様の装置から、多彩な加工ができる2スピンドル仕様の装置まで取り揃えております。
2スピンドル仕様の装置は、並列式(パラレルデュアル)タイプと対向式(フェイシングデュアル)タイプの2種類があります。

その他の呼称:
ダイシングマシン、ダイシング装置、ダイシング/スライシングマシン、ダイシングソー、レーザーソー、ウェハーダイシングマシン、DAD、DFD

グラインダー/ポリッシャー

グラインダー/ポリッシャー

グラインダーには、セミオートタイプとフルオートタイプがあります。 フルオートタイプには2スピンドル/2チャックテーブル式と、2スピンドル/3チャックテーブル式があります。
ポリッシャーは、グラインディングした加工面を磨く事で鏡面仕上げをします。フルオートタイプで量産性も高い装置です。

その他の呼称:
バックグラインダー、BG、グラインドマシン、グラインディングマシン、ポリッシングマシン、ポリッシュ・グラインダー、DFG、DAG、DFP

定温水供給装置

定温水供給装置

標準的な切削水/放水式の他に、切削水/循環式があります。
循環式は、使用切削水量を削減する環境に優しいタイプです。

その他の呼称:
チラー、チラーユニット、定温水装置、DTU

CO2バブラー

CO2バブラー

スタンドアローンタイプ(CO2ボンベを装着)と、装置に組み込んで装置と一緒にコントロールする組み込みタイプがあります。

その他の呼称:
バブラー、CO2インジェクター、インジェクター

UVテープ照射装置

UVテープ照射装置

使い易いマニュアルタイプと量産向けのフルオートタイプがあります。

その他の呼称:
UV照射機、UVランプ、テープ剥離機、UVキュア、UV、紫外線照射装置、UVフィルム硬化装置

マウンター/リムーバー

マウンター/リムーバー

ダイサー用のマウンターは、使い易いマニュアルタイプとセミオートタイプ、そして量産向けのフルオートタイプがあります。
グラインダー用は、テープを貼るためのマウンターと、加工後にテープを剥がすためのリムーバーがあります。

その他の呼称:
マウンター/ウェハーマウンター、テーパー、テープ貼り機、テープマウンター、フィルムマウンター、テーピングマシン、テープラミネーター、リムーバー/テープリムーバー、ディテーパー、テープ剥離機、テープ剥がし機

ダイボンダー

ダイボンダー

研究開発に適したマニュアルタイプの装置と量産向けのフルオートタイプの装置があります。

その他の呼称:
ダイマウンター、チップボンダー、チップソーター、ダイソーター、ダイスピッカー、パッケージピッカー、デイスペンサー、COGボンダー、COFボンダー

ワイヤーボンダー/バンプボンダー

ワイヤーボンダー/バンプボンダー

研究開発に適したマニュアルタイプの装置と量産向けのフルオートタイプの装置があります。

その他の呼称:
ボールボンダー、ウェッジボンダー、フリップチップボンダー、テープボンダー、インナーリードボンダー、アウターリードボンダー

測定器

測定器

非接触式の測定器から触針式の測定器、また非破壊で内部を観察できる測定器まで、様々な種類があります。

CNC測定器、形状測定器、プロファイラー、スキャナー、超音波診断装置、面粗さ計、面粗度計、レーザー測長器、X線検査装置

顕微鏡

顕微鏡

サンプルを高解像度で観察する金属顕微鏡、サンプルの各寸法を測定できる測定顕微鏡、外観チェックに便利な実体顕微鏡、光学系ではなかなか観察できない長深度の測定ができるレーザー顕微鏡、ミクロの世界を観察する電子顕微鏡(SEM)等の様々な顕微鏡があります。
電子顕微鏡は、観察と分析がメインのFE-SEMと半導体デバイスのパターンの寸法を測定できるCD-SEMがあります。

 

金属顕微鏡、工業用顕微鏡、工具顕微鏡、測定顕微鏡、半導体顕微鏡、実体顕微鏡、電子顕微鏡、レーザー顕微鏡、マイクロスコープ、CCDカメラ、SEM、FE-SEM、CD-SEM、TEM、FIB

 

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